太阳成集团tyc7111cc本创造涉及密封界限，的确涉及一种插板阀的端面密封构造及其创筑伎俩。本创造的插板阀的端面密封构造，重要包罗可拆卸相联构造、端面密封圈、密封盖板、O形密封圈和密封基板。密封盖板通过内侧的可拆卸相联构造固定正在密封基板上，密封盖板与密封基板之间通过O形密封圈密封；密封盖板的表侧装配有端面密封圈。端面密封圈的熔接通过激光加热来告竣熔接，先对端面密封圈的侧面实行熔接，然后对端面密封圈的底面实行熔接，通过采用局限非匀称加热式样保障正在激光熔接经过中不爆发内部应力，从而能够防备由于应力开释导致密封圈爆发变形而影响

(19)国度学问产权局 (12)创造专利申请 (10)申请发表号 CN 116811269 A (43)申请发表日 2023.09.29 (21)申请号 8.8 (22)申请日 2023.06.15 (71)申请人 帝京半导体科技（南通）有限公司 地方 226400 江苏省南通市如东县掘港街 道富春江途168号 （华睿智能家产园） 申请人 江苏大学 (72)创造人 张途强黎纠徐亚彬戴峰泽 (74)专利代劳机构 江苏纵联状师事情所 32253 专利代劳师 蔡栋 (51)Int.Cl. B29C 65/16 (2006.01) F16K 3/30 (2006.01) 权力请求书1页 仿单4页 附图3页 (54)创造名称 一种插板阀的端面密封构造及其创筑伎俩 (57)摘要 本创造涉及密封界限，的确涉及一种插板阀 的端面密封构造及其创筑伎俩。本创造的插板阀 的端面密封构造，重要包罗可拆卸相联构造、端 面密封圈、密封盖板、O形密封圈和密封基板。密 封盖板通过内侧的可拆卸相联构造固定正在密封 基板上，密封盖板与密封基板之间通过O形密封 圈密封；密封盖板的表侧装配有端面密封圈。端 面密封圈的熔接通过激光加热来告竣熔接，先对 端面密封圈的侧面实行熔接，然后对端面密封圈 的底面实行熔接，通过采用局限非匀称加热式样 保障正在激光熔接经过中不爆发内部应力，从而可 以防备由于应力开释导致密封圈爆发变形而影 A 响密封成绩太阳集团官网登录入口。本创造可利用于线 A 权力请求书 1/1页 1.一种插板阀的端面密封构造的创筑伎俩，其特色正在于包罗以下设施： 设施一，采用石英砂对密封盖板(3)的密封端面(31)和密封侧面(32)实行表观收拾，去 除表观的氧化皮和油脂，并使密封端面(31)和密封侧面的表观粗略度大于Ra3.2且幼于 Ra6.4； 设施二，正在端面密封板(3)的内侧面粘贴玄色聚酯胶带(61)，玄色聚酯胶带(61)的下沿 与内底面(34)的间隔为0.2～0.3mm；正在端面密封板(3)的下表观表侧粘贴玄色聚酯胶带 (62)，玄色聚酯胶带(62)的内测与密封侧面(32)的间隔为0.2～0.3mm；所述的玄色聚酯胶 带(61)的宽度幼于侧挡板(35)的高度b4，所述的玄色聚酯胶带(62)的宽度大于密封端面 (31)的宽度b3。 设施三，正在端面密封圈(2)的侧面施加压力F1，压力F1介于1～2MPa之间，然后采用激光 束辐照玄色聚酯胶带(61)，激光束沿内侧面(33)匀速绕行一周，竣事端面密封圈(2)与密封 侧面(32)的熔接，打消F1； 设施四，正在端面密封圈(2)的上方施加的压力F2，压力F2介于1～2MPa之间，然后采用激 光束辐照玄色聚酯胶带(62)，激光束沿底面(37)表侧匀速绕行一周，竣事端面密封圈(2)与 密封端面(31)的熔接，打消F2； 设施五，去除玄色聚酯胶带(61)和(62)，竣事端面密封圈(2)与密封盖板(3)的熔接。 2.遵循权力请求1所述的一种插板阀的端面密封构造的创筑伎俩，其特色正在于：所述的 激光束为接连激光，波长1064nm，扫描速率为3～5mm/s，功率密度边界为5000～10000W/ 2 cm 。 3.遵循权力请求1所述的一种插板阀的端面密封构造的创筑伎俩，其特色正在于：所述的 玄色聚酯胶带(61)和(62)的厚度为30～50μm。 4.遵循权力请求1所述的一种插板阀的端面密封构造的创筑伎俩，其特色正在于：所述的 表观收拾，能够是喷砂或者其他洗刷毛化收拾伎俩。 5.遵循权力请求1‑4所述的任一种插板阀的端面密封构造的创筑伎俩获得的端面密封 构造，包罗端面密封圈(2)，密封基板(5)，其特色正在于还包罗：可拆卸相联构造(1)、密封盖 板(3)和O形密封圈(4)，所述的密封盖板(3)的侧挡板(35)与底板(37)的厚度b1与b2相当， 厚度边界为2～2.5mm；所述的密封盖板(3)通过内侧的可拆卸相联构造(1)固定正在密封基板 (5)上，密封盖板(3)与密封基板(5)之间通过O形密封圈(4)密封；密封盖板(3)的表侧装配 有端面密封圈(2)。 6.遵循权力请求5所述的插板阀的端面密封构造，其特色正在于：所述的可拆卸相联构造 (1)，密封盖板(3)与密封基板(5)材质相通，为铝合金或不锈钢。 7.遵循权力请求5所述的插板阀的端面密封构造，其特色正在于：所述的端面密封圈(2) 和O形密封圈(4)的材质为氟橡胶。 2 2 CN 116811269 A 仿单 1/4页 一种插板阀的端面密封构造及其创筑伎俩 时间界限 [0001] 本创造涉及密封界限，的确涉及一种插板阀的端面密封构造及其创筑伎俩。 靠山时间 [0002] 真空插板阀用来保障半导体刻蚀腔真空度，而其密封构造是裁夺其密封职能、保 持刻蚀腔干净度的症结部件。一样真空插板阀的密封圈采用氟橡胶，为了防备异种质料分 子进入刻蚀腔，一样采用正在密封基板上直接胶结密封圈的式样，创筑一格式密封构造，其密 封圈的胶结工艺是：涂刷硫化型胶结剂‑干燥‑装配密封圈‑硫化，其造备流程纷乱，耗时长 (一样需求数天)，对境况请求高，当密封圈失效后，需求对密封原件整个改换，密封原件使 用本钱高。申请号为9.2的创造专利“聚酰胺树脂组合物及其成型体、激光熔接 体的创筑伎俩”采用激光透过透后树脂构件辐照胶结剂的式样告竣分别品种树脂质料的熔 接，该伎俩需求填充质料，且需求激光直接辐照，不适合金属质料和不透后的橡胶之间的熔 接。 创造实质 [0003] 本创造的主意正在于供应一种插板阀的端面密封构造及其创筑伎俩，正在告竣大幅度 简化创筑工艺并得回优良密封成绩的同时，可告竣敏捷改换，大幅度降形成本和利用 本钱，并合用于金属质料和不透后的橡胶之间的熔接。 [0004] 为领略决以上时间题目，本创造采用的的确时间计划如下。 [0005] 一种插板阀的端面密封构造的创筑伎俩，其特色正在于包罗以下设施： [0006] 设施一，采用石英砂对密封盖板(3)的密封端面(31)和密封侧面(32)实行表观处 理，去除表观的氧化皮和油脂，并使密封端面(31)和密封侧面的表观粗略度大于Ra3.2且幼 于Ra6.4； [0007] 设施二，正在端面密封板(3)的内侧面粘贴玄色聚酯胶带(61)，玄色聚酯胶带(61)的 下沿与内底面(34)的间隔为0.2～0.3mm；正在端面密封板(3)的下表观表侧粘贴玄色聚酯胶 带(62)，玄色聚酯胶带(62)的内测与密封侧面(32)的间隔为0.2～0.3mm；所述的玄色聚酯 胶带(61)的宽度幼于侧挡板(35)的高度b4，所述的玄色聚酯胶带(62)的宽度大于密封端面 (31)的宽度b3。 [0008] 设施三，正在端面密封圈(2)的侧面施加压力F1，压力F1介于1～2MPa之间，然后采用 激光束辐照玄色聚酯胶带(61)，激光束沿内侧面(33)匀速绕行一周，竣事端面密封圈(2)与 密封侧面(32)的熔接，打消F1； [0009] 设施四，正在端面密封圈(2)的上方施加的压力F2，压力F2介于1～2MPa之间，然后采 用激光束辐照玄色聚酯胶带(62)，激光束沿底面(37)表侧匀速绕行一周， [0010] 竣事端面密封圈(2)与密封端面(31)的熔接，打消F2； [0011] 设施五，去除玄色聚酯胶带(61)和(62)，竣事端面密封圈(2)与密封盖板(3)的熔 接。 3 3 CN 116811269 A 仿单 2/4页 [0012] 所述的激光束为接连激光，波长1064nm，扫描速率为3～5mm/s，功率密度边界为 2 5000～10000W/cm 。 [0013] 所述的玄色聚酯胶带(61)和(62)的厚度为30～50μm。 [0014] 所述的表观收拾，为喷砂或其他洗刷毛化收拾伎俩。 [0015] 一种插板阀的端面密封构造，包罗端面密封圈(2)，密封基板(5)，其特色正在于还包 括：可拆卸相联构造(1)、密封盖板(3)和O形密封圈(4)太阳集团官网登录入口，所述的密封盖板(3)的侧挡板(35) 与底板(37)的厚度b1与b2相当，厚度边界为2～2.5mm；所述的密封盖板(3)通过内侧的可拆 卸相联构造(1)固定正在密封基板(5)上，密封盖板(3)与密封基板(5)之间通过O形密封圈(4) 密封；密封盖板(3)的表侧装配有端面密封圈(2)。分别于通过直接胶结式样创筑正在密封基 板上的现有伎俩。 [0016] 所述的可拆卸相联构造(1)，密封盖板(3)与密封基板(5)材质相通，为铝合金或不 锈钢。 [0017] 所述的端面密封圈(2)和O形密封圈(4)的材质为氟橡胶。 [0018] 本创造拥有有益成绩。 [0019] 1.本创造采用激光熔接的式样告竣端面密封圈与密封盖板的熔接，能够大幅度简 化端面密封圈的创筑工艺，缩短密封构造的创筑时刻。 [0020] 2.本创造采用激光挨次熔接的式样，先告竣端面密封圈(2)的侧面熔接，然后告竣 端面密封圈(2)的端面的熔接，为了保障端面密封圈(2)内部正在熔接经过中不爆发内部应 力，采用的计划是玄色聚酯胶带(61)的下沿与内底面(34)的间隔为0.2～0.3mm，且玄色聚 酯胶带(61)的宽度幼于侧挡板(35)的高度b4，其主意正在于铝合金对波长为1064nm的激光反 射率极高，粘贴玄色聚酯胶带能够使该区域的温度敏捷上升，而未粘贴胶带区域温度上升 较慢，通过该时间措施能够告竣端面密封圈(2)的侧面与密封盖板(3)的密封侧面(32)熔 接，而端面密封圈(2)的底面与密封盖板(3)的底面未熔接；之后打消F1，再实行密封端面 (31)的熔接，因为玄色聚酯胶带(62)的宽度大于密封端面(31)的宽度b3，能够告竣端面密 封圈(2)的底面与密封盖板(3)的密封端面(31)齐全熔接。 [0021] 3.本创造密封盖板(3)的侧挡板(35)与底板(36)厚度边界为2～2.5mm，正在保障密 封盖板，有利于正在激光辐照经过中敏捷传热，告竣端面密封圈(2)与密封面的齐全熔接。 [0022] 4.本创造通过将密封盖板(3)与密封基板(5)离散，当端面密封圈(2)失效时，能够 告竣敏捷改换，告竣开发的敏捷维修。本创造密封圈可拆卸，可替换现有的一格式密封圈。 附图证明 [0023] 图1是本创造插板阀的端面密封构造示希图； [0024] 图2是端面密封圈装配示希图； [0025] 图3密封盖板俯视图； [0026] 图4本创造插板阀的断面密封构造三维示希图。 [0027] 图中：1可拆卸相联构造2端面密封圈3密封盖板4O形密封圈5密封基板31密封端面 32密封侧面33内侧面34内底面35侧挡板36底板37底面61玄色聚酯胶带62玄色聚酯胶带 4 4 CN 116811269 A 仿单 3/4页 的确实行式样 [0028] 为更好的阐扬本创造的实行细节，下面连结附图和的确实行例对本创造的时间方 案做进一步注意证明，图3为密封盖板的俯视图，图4为本创造插板阀的断面密封构造三维 示希图。 [0029] 本创造的一种插板阀的端面密封构造如图1所示，包罗可拆卸相联构造1即螺钉、 端面密封圈2、密封盖板3、O形密封圈4和密封基板5，密封盖板3通过内侧的螺钉固定正在密封 基板5上，密封盖板3与密封基板5之间通过O形密封圈4密封；密封盖板3的表侧装配有端面 密封圈2。 [0030] 实行例1 [0031] 本实例中，密封基板5和密封盖板3均为6061铝合金，端面密封圈2和O形密封圈4的 材质均为全氟橡胶，采用如下设施告竣密封盖板3和端面密封圈2的熔接： [0032] 设施一，采用粒度为200主意石英砂对如图1所示的密封盖板3的密封端面31和密 封侧面32实行喷砂收拾，去除表观的氧化皮和油脂，并使密封端面31和密封侧面的表观粗 糙度大于Ra3.2且幼于Ra6.4； [0033] 设施二，正在端面密封板3的内侧面粘贴玄色聚酯胶带61，玄色聚酯胶带61的下沿与 内底面34的间隔为0.2mm；正在端面密封板3的下表观表侧粘贴玄色聚酯胶带62，玄色聚酯胶 带62的内测与密封侧面32的间隔为0.2mm； [0034] 设施三，正在端面密封圈2的侧面施加1MPa的压力，然后采用功率密度为5000W/cm2 激光束辐照玄色聚酯胶带61，激光束沿内侧面33以3mm/s的速率匀速绕行一周，竣事端面密 封圈2与密封侧面32的熔接； [0035] 2 设施四，正在端面密封圈2的上方施加1MPa的压力，然后采用5000W/cm 为的激光束 辐照玄色聚酯胶带62，激光束沿底面37表侧以3mm/s的速率匀速绕行一周，竣事端面密封圈 2与密封端面31的熔接； [0036] 设施五，去除玄色聚酯胶带61和62，竣事端面密封圈2与密封盖板3的熔接。 [0037] 经搜检，本伎俩创筑的插板阀密封构造满意利用请求，密封构造的创筑流程约30 分钟，且创筑本钱低，维持简单。 [0038] 实行例2 [0039] 本实例中，密封基板5和密封盖板3均为304不锈钢，端面密封圈2和O形密封圈4的 材质均为全氟橡胶太阳集团官网登录入口，采用如下设施告竣密封盖板3和端面密封圈2的熔接： [0040] 设施一，采用激光洗刷的式样对如图1所示的密封盖板3的密封端面31和密封侧面 32实行洗刷和毛化收拾，去除表观的氧化皮和油脂，并使密封端面31和密封侧面的表观粗 糙度大于Ra3.2且幼于Ra6.4； [0041] 设施二，正在端面密封板3的内侧面粘贴玄色聚酯胶带61，玄色聚酯胶带61的下沿与 内底面34的间隔为0.3mm；正在端面密封板3的下表观表侧粘贴玄色聚酯胶带62，玄色聚酯胶 带62的内测与密封侧面32的间隔为0.3mm； [0042] 设施三，正在端面密封圈2的侧面施加2MPa的压力，然后采用功率密度为10000W/cm2 激光束辐照玄色聚酯胶带61，激光束沿内侧面33以5mm/s的速率匀速绕行一周，竣事端面密 封圈2与密封侧面32的熔接； [0043] 2 设施四，正在端面密封圈2的上方施加2MPa的压力，然后采用10000W/cm 为的激光束 5 5 CN 116811269 A 仿单 4/4页 辐照玄色聚酯胶带62，激光束沿底面37表侧以5mm/s的速率匀速绕行一周，竣事端面密封圈 2与密封端面31的熔接； [0044] 设施五，去除玄色聚酯胶带61和62，竣事端面密封圈2与密封盖板3的熔接。 [0045] 经搜检，本伎俩创筑的插板阀密封构造满意利用请求，密封构造的创筑流程约20 分钟，且创筑本钱低，维持简单。 [0046] 插板阀的密封构造的装配：正在竣事端面密封圈2与密封盖板3的熔接(如图2所示) 后，开始将O形密封圈4装配到密封基板5的密封槽内(如图4所示)，然后将如图2所示的采用 激光熔接有端面密封圈3的密封盖板4笼盖正在密封基板5上，通过螺钉将密封盖板3和密封5 相联正在一道，竣事插板阀密封构造的装配。 [0047] 插板阀的密封构造的拆卸：当密封圈损坏后，拆卸掉螺钉，使密封盖板3与密封基 板5离散，然后将如图2所示的采用激光熔接有端面密封圈3的密封盖板4笼盖正在密封基板5 上，通过螺钉将密封盖板3和密封5相联正在一道，竣事密封构造的改换。 6 6 CN 116811269 A 仿单附图 1/3页 图1 图2 7 7 CN 116811269 A 仿单附图 2/3页 图3 8 8 CN 116811269 A 仿单附图 3/3页 图4 9 9

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